第一卷第283章首块晶圆的诞生(第1/2页)
冷风卷着空气被电离的焦糊味,迅速消失在漆黑的夜色里。
绝密车间厚重的防爆门后,却翻滚着另一股足以熔穿钢铁的热浪。
轰——嗡嗡嗡!
单晶硅提纯设备在车间正中央发出低沉的运转轰鸣,连带着脚下的水泥地面都在微微发颤。
庞大的机械臂凌空探出,钢铁关节摩擦出刺耳的锐响。
机械爪死死钳住第一批高纯度多晶硅原料,精准地移向提纯炉上方。
哐当!
厚重的炉盖向两侧滑开。
机械臂猛地往下一沉,将整箱原料稳稳送入炽热的炉膛。
刺目的火光瞬间喷涌而出,将整个车间的墙壁映得通红。
程美丽站在三米外的炉温控制面板前,身上披着一件宽松的白大褂。
滚烫的热浪扑面而来。
她嫌弃地皱了皱鼻子,抬手往后拨了一下被汗水沾湿的额发。
陆川站在她右后侧,单手捏着一块用冷水浸过的干净毛巾,直接覆在她的后颈上。
冰凉的触感透过皮肤传开。
程美丽舒服地眯了一下眼睛,左脚往前踏出半步,目光锁死在屏幕上。
黑底绿字的代码瀑布般飞速滚动。
“偏高了。”
她吐出三个字。
没有任何犹豫,程美丽双手按上工业键盘,十指化作残影,重重敲击按键。
哒哒哒!
底层控温代码被她强行覆写。
“咔!”
回车键被一指按下。
提纯炉内部发出“嘶”的一声剧烈泄压声。
狂暴的火光肉眼可见地暗了一个色号。
熔炼的极限温度曲线,被她用一段强行插入的指令,硬生生往下压了十五度。
车间里几名监测数据的技术员呼吸一滞,连大气都不敢喘。
“稳住了!”
有人压低嗓音喊了一声。
程美丽离开控制台,从口袋里摸出一颗薄荷糖剥开,塞进嘴里。
她拉过一把折叠椅坐下,翘起二郎腿,目光盯着提纯炉的方向。
三小时后。
轰鸣声逐渐减弱。
咔哒!
提纯炉底部的出料口在液压杆的推动下,缓缓向两侧滑开。
白色的高温蒸汽贴着地面疯狂溢出。
牵引底座开始向上拉升。
一根通体泛着银灰色冷光的高纯度单晶硅棒,顺着牵引杆被一点点拉制出来。
硅棒表面平滑得不带一丝纹理,在车间顶灯的照射下,折射出冷硬刺骨的金属光泽。
“出炉了!”
技术组长戴着隔热手套,快步冲上前。
他拿起切割电锯,对准硅棒尾端狠狠切下。
火星四溅!
一块银币大小的硅棒切片掉落在托盘里。
技术组长用医用长镊夹起切片,一路小跑冲向操作台,将其送入高精度质谱仪的检测舱。
滴!
扫描红光亮起。
整个车间静得只能听见质谱仪机箱散热风扇的转动声。
所有人的视线死死钉在上方悬挂的电子投屏上。
滴——滴滴!
检测结果瞬间跃上大屏。
99.999999%。
一串刺眼的绿色数字。
八个九。
李副部长站在人群最前面,眼珠子几乎要瞪出眼眶,双手死死攥住前排的栏杆。
“成了!”
他猛地一拍大腿,仰起头放声大笑。
笑声震得头顶的白炽灯都在晃。
车间内的专家与工人们愣了一秒,随即将手里的图纸和手套高高抛向半空,互相死死抱在一起。
震耳欲聋的欢呼声瞬间掀翻了车间的屋顶。
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程美丽坐在椅子上,被这冲天的嗓门吵得用手捂住了耳朵。
她嚼碎嘴里的薄荷糖,没好气地白了李副部长一眼。
“嚎什么。”
“提纯只是第一步,切不出来薄片,这硅棒就是根烧火棍。”
欢呼声戛然而止。
李副部长搓了搓通红的脸颊,立刻朝后招手。
“上切割机!快!”
吊车缓缓移动,将那根沉重的单晶硅棒稳稳吊起,推入一旁的金刚石线切割机舱内。
卡扣锁死。
滋——!
高压冷冻液喷涌而出,化作白色的水雾罩住整个切割区。
金刚石线圈开始以肉眼难以捕捉的速度疯狂运转。
极细的切割线狠狠咬进硅棒表面,发出令人牙酸的撕裂声。
金属碎屑混着冷冻液,在防爆玻璃内壁上砸出一片泥泞。
十分钟后。
切割声停歇。
机舱门弹开。
第一批标准八英寸晶圆被机械抓手切下,整整齐齐地码放在无尘操作台的托盘内。
每一片都薄如蝉翼,表面光洁如镜,倒映着车间刺眼的白光。
程美丽站起身,走到无尘操作台前。
她没有戴手套,而是直接用一把定制的防静电竹镊,捏起一片刚切好的晶圆。
薄薄的硅片在她指尖转了半个圈。
她将其平放在高倍电子显微镜的载物台上,低头凑近目镜。
右侧的旋钮被她快速拧动,焦距在一瞬间锁定。
显微镜下的视场里,晶圆表面的微观结构暴露无遗。
程美丽看了一眼,眉头立刻拧成了一个死结。
她直起身,把竹镊往托盘里重重一扔。
啪!
“废品。”
两个字,轻飘飘地砸在操作台上。
周围刚准备鼓掌的技术员们集体僵住,脸上的喜色瞬间凝固。
李副部长急忙凑上来,声音发紧。
“程工,哪里不对?”
“平整度。”
程美丽指着托盘里的那堆晶圆,语气冷得掉冰渣。
“你们现在用的涂层工艺,药液分布存在明显的厚度落差。”
她竖起一根手指。
“0.1微米的平整度误差。”
“这种表面,只要上了光刻机,光线一照就会产生衍射畸变。”
“刻出来的电路不仅会短路,还会直接烧穿底板。”
几个核心工程师脸色煞白,后背冒出一层冷汗。
0.1微米的误差,在他们现有的认知里,已经是极限的极限。
“这……”
一名老工程师咽了一口唾沫。
“程工,咱们现有的光刻胶配方粘稠度太高,旋涂机根本甩不平这0.1微米啊。”
“甩不平就换配方。”
程美丽没理会他们的难处,双手揣进白大褂的口袋里,闭上了眼睛。
意识深处,系统面板瞬间亮起。
她点开跨时代物资商城的检索栏。
【搜索指令:极紫外光刻胶配方图谱。】
金色的商品图标在面板中央缓缓浮现,带着一股不可侵犯的科技威压。
【叮!兑换确认。】
【该图谱为跨时代机密技术,将扣除宿主五万点作精值。】
程美丽的指尖在虚空中毫不犹豫地按下确认键。
【作精值已扣除,当前余额:93180点。】
【下一代极紫外光刻胶合成配方图谱,已自动生成于随身空间。】
她睁开眼,长长的睫毛在白炽灯下投下一片阴影。
程美丽偏过头,看了一眼身侧的陆川。
她嘴角微翘,指尖在金属操作台上不紧不慢地敲了两下。